КОНТРОЛЬ И ИЗМЕРЕНИЕ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЗОНДОВЫХ ПЛАТ
Зондовая плата - это механический интерфейс между электронной испытательной системой и полупроводниковой пластиной. Усовершенствованные типы зондовых плат - могут тестировать всю 12-дюймовую пластину за одно касание.
Тысячи наконечников зондов на плате должны контактировать с пластиной с высокой степенью точности по всем трём осям (X, Y и Z) одновременно. Из-за этого требования, положение и геометрия наконечника зонда имеют решающее значение для правильного функционирования зондовой платы.
Для выполнения этих сложных измерений необходима устойчивая и высокоточная система.
Традиционные методы контроля ограничены следующими факторами:
- Малые размеры наконечников зонда требуют большого увеличения для правильного измерения.
- Небольшие позиционные отклонения затрудняют точное измерение наконечника зонда.
- Случайное расположение зонда затрудняет написание программ измерения и отнимает много времени.
- Проверка может занять несколько часов из-за времени, необходимого для создания новых файлов обучения.
Решение Nikon
NEXIV VMZ-R3020 - Система технического зрения с программным обеспечением Automeasure
- Конструкция из литой стали и стандартное разрешение 0,01 мкм по всем осям
- Возможность большого увеличения от 1200X до 4800X для точных измерений деталей
- Возможность автоматического измерения «сопоставления с эталоном» для учета ошибок позиционирования
- Автофокус и лазерная фокусировка через линзу для точного измерения высоты по оси Z
- Запись последовательности действий для сокращения времени создания обучающих файлов.
...
30.06.2021