ВИС Nikon NEXIV - Исследование и измерение параметров датчиков

Датчик - это электронное устройство, которое измеряет физическое состояние окружающей среды, определяет его количественно и преобразует в выходной сигнал, который может быть прочитан наблюдателем или прибором. Датчики используются в миллионах предметов повседневного пользования, таких как сотовые телефоны, портативные медиаплееры, бытовая техника, пульты дистанционного управления, системы виртуальной реальности, устройства для ПК, товары для домашних развлечений, автомобильные подушки безопасности и промышленное контрольное оборудование.

Для обеспечения точности они должны быть откалиброваны по известным стандартам.

Поскольку многие датчики основаны на протравленных кремниевых пластинах, важно измерить не только их размеры по осям x и y, но и глубину травления.

Датчики производятся и проверяются в очень большом количестве, поэтому скорость проверки является критически важна.

Устаревшие ручные методы исследования ограничены в возможностях и не могут позволить:

• Одновременно изменить несколько размеров
• Измерить протравленные шаблоны, чтобы убедиться, что их профиль и глубина протравливания верны
• Исследовать деталь с меньшим увеличением для определения местоположения объекта, а затем увеличить масштаб для крупного плана
• Автоматизировать цикл проверки идентичных образцов