Устройство для нанесения покрытия JEOL Smart Coater предназначено для напыления тонкой металлической пленки на непроводящие образцы перед их исследованием на сканирующем электронном микроскопе (СЭМ). Тонкое металлическое покрытие, нанесенное на поверхность образца, позволяет работать с непроводящими образцами в режиме высокого вакуума и получать высококонтрастные изображения с высоким разрешением.
Smart Coater от JEOL - это полностью автоматизированная установка для нанесения покрытий, которая распыляет мелкозернистое покрытие из золота или платины (опция) на образцы для получения изображений в сканирующем электронном микроскопе.
В JEOL Smart Coater используется метод разряда низкого напряжения с магнетронным электродом для высокоэффективного холодного распыления. Распыление при низком напряжении, а также изоляция образца от электрода сводят к минимуму его повреждение.
JEOL Smart Coater прост в использовании благодаря полностью автоматизированному вакуумированию и распылению. Поместите образцы, включите прибор и выберите время распыления. Откачивание воздуха из камеры, и процесс покрытия начнутся автоматически. Когда прибор выключен, он соединён с атмосферой.
На толщину покрытия влияет расстояние от мишени, расстояние от центра столика, а также время распыления. В качестве справочной информации ниже перечислены основные условия нанесения покрытия и итоговая толщина пленки.
Мишень из золота (Au):
- Расстоянии до образца: 20 мм (рабочее расстояние)
- Толщина плёнки: 5 нм при 1 мин., 10 нм при 2 мин.
Мишень из платины (Pt):
- Расстояние до образца: 20 мм (рабочее расстояние)
- Толщина плёнки: 4 нм при 1 мин., 8 нм при 2 мин.
| Давление | 4 Па |
| Размер камеры | 86 мм (д) × 100 мм (в); твёрдое стекло |
| Размер мишени | Au: 49,5 мм (д) × 0,1 мм (в) Pt: 49,5 мм (д) × 0,05 мм (в) [опция] |
| Электрод мишени | 20 мм (д) |
| Размер столика | 70 мм (д) |
| Высота столика | Регулируется относительно цели (10 мм – 50 мм) |
| Время распыления | 0,5 мин/1 мин/2 мин (фиксировано) |