Применение микроскопов NIKON в микроэлектронике

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Меньше, дешевле, быстрее - то, что постоянно заботит производителей микроэлектронных устройств. В микроэлектронике каждое новое поколение продуктов должно превосходить предшественников, уменьшаясь в размерах без существенного увеличения цены.

Эти правила влияют на все электронные элементы:

  • транзисторы
  • конденсаторы
  • катушки индуктивности
  • резисторы
  • диоды

По мере того, как их размер продолжает уменьшаться, ужесточаются требования к измерительному оборудованию (такому как измерительные микроскопы, видеоизмерительные системы) и программному обеспечению.

Методы измерения и анализа все более плотно упакованных печатных плат должны соответствовать стандартам нового времени. На таком уровне миниатюризации влияние каждого несовершенства усугубляется. Новые сложности в разработке устройств, такие как электростатические силы, начинают оказывать заметное влияние на производительность.

Для контроля качества в микроэлектронике как правило используется комбинация различных микроскопов. Среди них:

  • для общей диагностики и контроля (инспекции) цепей и трассировки: стереомикроскопы и световые оптические микроскопы;
  • для контроля кремниевых подложек: прямые микроскопы в отраженном и проходящем свете совместно с видеоизмерительными системами для детального и автоматизированного метрологического анализа и создания отчетов;
  • для выявления дефектов: прямые и стереомикроскопы в отраженном свете.

Цифровые камеры высокого разрешения и интуитивно понятное, при этом мощное программное обеспечение, позволяют вывести контроль качества на новый уровень. Это помогает предприятиям-изготовителям подготовить свое производство к выпуску чипов следующих поколений со все более высокими техническими требованиями.

Ключевые методы и инструменты:

- стереомикроскопы: Nikon SMZ745, SMZ800, SMZ18SMZ25;

- прямые микроскопы Nikon LV150, LV100;

- инвертированные микроскопы: Nikon MA100NMA200;

- инспекционные микроскопы Nikon Eclipse L200Nikon Eclipse L300;

- видеоизмерительные системы: iNexiv VMA2520,VMA4540,VMA6555,Nexiv" VMZ-R/VMR;

- цифровые микроскопы Inspectis;

- программное обеспечение E-max, NIS-Elements;

- измерительные микроскопы: Nikon MM200, MM400, MM800.

18.05.2020


Рекомендации