МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Меньше, дешевле, быстрее - то, что постоянно заботит производителей микроэлектронных устройств. В микроэлектронике каждое новое поколение продуктов должно превосходить предшественников, уменьшаясь в размерах без существенного увеличения цены.
Эти правила влияют на все электронные элементы:
- транзисторы
- конденсаторы
- катушки индуктивности
- резисторы
- диоды
По мере того, как их размер продолжает уменьшаться, ужесточаются требования к измерительному оборудованию (такому как измерительные микроскопы, видеоизмерительные системы) и программному обеспечению.
Методы измерения и анализа все более плотно упакованных печатных плат должны соответствовать стандартам нового времени. На таком уровне миниатюризации влияние каждого несовершенства усугубляется. Новые сложности в разработке устройств, такие как электростатические силы, начинают оказывать заметное влияние на производительность.
Для контроля качества в микроэлектронике как правило используется комбинация различных микроскопов. Среди них:
- для общей диагностики и контроля (инспекции) цепей и трассировки: стереомикроскопы и световые оптические микроскопы;
- для контроля кремниевых подложек: прямые микроскопы в отраженном и проходящем свете совместно с видеоизмерительными системами для детального и автоматизированного метрологического анализа и создания отчетов;
- для выявления дефектов: прямые и стереомикроскопы в отраженном свете.
Цифровые камеры высокого разрешения и интуитивно понятное, при этом мощное программное обеспечение, позволяют вывести контроль качества на новый уровень. Это помогает предприятиям-изготовителям подготовить свое производство к выпуску чипов следующих поколений со все более высокими техническими требованиями.
Ключевые методы и инструменты:
- стереомикроскопы: Nikon SMZ745, SMZ800, SMZ18, SMZ25;
- прямые микроскопы Nikon LV150, LV100;
- инвертированные микроскопы: Nikon MA100N, MA200;
- инспекционные микроскопы Nikon Eclipse L200, Nikon Eclipse L300;
- видеоизмерительные системы: iNexiv VMA2520,VMA4540,VMA6555,Nexiv" VMZ-R/VMR;
- цифровые микроскопы Inspectis;
- программное обеспечение E-max, NIS-Elements;
- измерительные микроскопы: Nikon MM200, MM400, MM800.
18.05.2020
