NEXIV VMZ-R3020 - Система технического зрения с программным обеспечением Automeasure

Контроль и измерение геометрических параметров зондовых плат

Зондовая плата- это механический интерфейс между электронной испытательной системой и полупроводниковой пластиной. Усовершенствованные типы зондовых плат - могут тестировать всю 12-дюймовую пластину за одно касание.

Тысячи наконечников зондов на плате должны контактировать с пластиной с высокой степенью точности по всем трём осям (X, Y и Z) одновременно. Из-за этого требования, положение и геометрия наконечника зонда имеют решающее значение для правильного функционирования зондовой платы.

Для выполнения этих сложных измерений необходима устойчивая и высокоточная система.

Традиционные методы контроля ограничены следующими факторами:

  • Малые размеры наконечников зонда требуют большого увеличения для правильного измерения.
  • Небольшие позиционные отклонения затрудняют точное измерение наконечника зонда.
  • Случайное расположение зонда затрудняет написание программ измерения и отнимает много времени.
  • Проверка может занять несколько часов из-за времени, необходимого для создания новых файлов обучения.

Решение Nikon

NEXIV VMZ-R3020 - Система технического зрения с программным обеспечением Automeasure

  • Конструкция из литой стали и стандартное разрешение 0,01 мкм по всем осям
  • Возможность большого увеличения от 1200X до 4800X для точных измерений деталей
  • Возможность автоматического измерения «сопоставления с эталоном» для учета ошибок позиционирования
  • Автофокус и лазерная фокусировка через линзу для точного измерения высоты по оси Z
  • Запись последовательности действий для сокращения времени создания обучающих файлов.

30.06.2021

Рекомендуем